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加工精度達到 1微米的機械加工方法。精密機械加工是在嚴格控制的環境條件下，使用精密機床和精密量具和量儀來實現的。加工精度達到和超過 0.1微米稱超精密機械加工。

精密機械加工的工藝效果是：

①零件的幾何形狀和相互位置精度達到微米或角秒級；

②零件的界限或特征尺寸公差在微米以下;

③零件表面微觀不平度(表面不平度平均高度差)小于0.1 微米;

④互配件能滿足配合力的要求；

⑤部分零件還能滿足準確的力學或其他物理特性要求。

先面后孔　　[1]　對于箱體、支架和連桿等零件應先加工平面后加工孔。這樣就可以以平面定位加工孔，保證平面和孔的位置精度，而且對平面上的孔的加工帶來方便。光整加工  主要表面的光整加工（如研磨、珩磨、精磨﹨滾壓加工等），應放在工藝路線后階段進行，加工后的表面光潔度在Ra0.8um以上，輕微的碰撞都會損壞表面，在日本、德國等國家，精密機械加工設備，在光整加工后，都要用絨布進行保護，不準用手或其它物件直接接觸工件，大型精密機械加工，以免光整加工的表面，由于工序間的轉運和安裝而受到損傷。  

 (2)、合理地選用設備。粗加工主要是切掉大部分加工余量，并不要求有較高的加工精度，所以粗加工應在功率較大、精度不太高的機床上進行，精加工工序則要求用較高精度的機床加工。粗、精加工分別在不同的機床上加工，既能充分發揮設備能力，又能延長精密機床的使用壽命。

 (3)、在機械加工工藝路線中，精密機械加工零件，常安排有熱處理工序。熱處理工序位置的安排如下：為改善金屬的切削加工性能，如退火、正火、調質等，一般安排在機械加工前進行。為消除內應力，如時效處理、調質處理等，一般安排在粗加工之后，精加工之前進行。為了提高零件的機械性能，如滲碳、淬火、回火等，一般安排在機械加工之后進行。如熱處理后有較大的變形，還須安排終加工工序